(19)
(11) EP 1 295 384 A1

(12)

(43) Date de publication:
26.03.2003  Bulletin  2003/13

(21) Numéro de dépôt: 01949575.3

(22) Date de dépôt:  28.06.2001
(51) Int. Cl.7H02N 1/00, G01P 15/125
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR0102/075
(87) Numéro de publication internationale:
WO 0200/1706 (03.01.2002 Gazette  2002/01)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorité: 29.06.2000 FR 0008420

(71) Demandeur: PHS MEMS
75001 Paris (FR)

(72) Inventeur:
  • VALENTIN, François
    F-38113 Veurey-Voroize (FR)

(74) Mandataire: de Beaumont, Michel 
Cabinet Michel de Beaumont1, rue Champollion
38000 Grenoble
38000 Grenoble (FR)

   


(54) MICROCOMPOSANT ELECTRONIQUE, CAPTEUR ET ACTIONNEUR INCORPORANT UN TEL MICROCOMPOSANT