(19)
(11) EP 1 297 556 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.04.2003  Patentblatt  2003/14

(21) Anmeldenummer: 01940044.9

(22) Anmeldetag:  26.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH0100/396
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0200/3424 (10.01.2002 Gazette  2002/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 06.07.2000 CH 133900

(71) Anmelder: Brooks-PRI Automation (Switzerland) GmbH
8274 Tägerwilen (CH)

(72) Erfinder:
  • BLATTNER, Jakop
    CH-8272 Ermatingen (CH)
  • FEDERICI, Rudy
    CH-8572 Berg (CH)

(74) Vertreter: EGLI-EUROPEAN PATENT ATTORNEYS 
Horneggstrasse 4
8008 Zürich
8008 Zürich (CH)

   


(54) LAGER- BZW- PUFFERSYSTEM MIT FÖRDERELEMENTEN