(19)
(11) EP 1 301 763 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
28.03.2002

(43) Date de publication:
16.04.2003  Bulletin  2003/16

(21) Numéro de dépôt: 01954108.5

(22) Date de dépôt:  16.07.2001
(51) Int. Cl.7G01J 4/00, G01N 21/21
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR0102/305
(87) Numéro de publication internationale:
WO 0200/6779 (24.01.2002 Gazette  2002/04)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorité: 17.07.2000 FR 0009318

(71) Demandeur: Société de Production et de Recherches Appliquées
92270 Bois-Colombes (FR)

(72) Inventeurs:
  • STEHLE, Jean-Louis
    F-92700 Colombes (FR)
  • PIEL, Jean-Philippe
    F-78160 Marly-le-Roi (FR)
  • BOHER, Pierre
    F-91330 Yerres (FR)
  • TANTART, Luc
    F-91120 Palaiseau (FR)
  • REY, Jean-Pierre
    F-92260 Fontenay aux Roses (FR)

(74) Mandataire: Plaçais, Jean-Yves 
Cabinet Netter,36, avenue Hoche
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE COMPACT