(19)
(11) EP 1 301 950 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.04.2003  Patentblatt  2003/16

(21) Anmeldenummer: 01984132.9

(22) Anmeldetag:  27.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/20, H01L 51/40
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0102/377
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0200/5360 (17.01.2002 Gazette  2002/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 07.07.2000 DE 10033112

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • CLEMENS, Wolfgang
    90617 Puschendorf (DE)
  • BERNDS, Adolf
    91083 Baiersdorf (DE)
  • ROST, Henning
    91056 Erlangen (DE)
  • FIX, Walter
    90762 Fürth (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND STRUKTURIERUNG ORGANISCHER-FELDEFFEKT-TRANSISTOREN (OFET)