(19)
(11) EP 1 303 790 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.08.2002

(43) Veröffentlichungstag:
23.04.2003  Patentblatt  2003/17

(21) Anmeldenummer: 01956410.3

(22) Anmeldetag:  25.07.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 1/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0102/878
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0200/9152 (31.01.2002 Gazette  2002/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 26.07.2000 DE 10037444
20.11.2000 DE 10057437
20.11.2000 DE 10057438

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LUDWIG, Burkhard
    81379 München (DE)
  • MOUKARA, Molela
    81379 München (DE)

(74) Vertreter: Graf Lambsdorff, Matthias, Dr. 
PatentanwälteLambsdorff & LangeDingolfinger Strasse 6
81673 München
81673 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR FESTSTELLUNG DER ABBILDBARKEIT INTEGRIERTER HALBLEITERSCHALTKREISE AUF ALTERNIERENDE PHASENMASKEN