(19)

(11)

EP 1 305 826 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 27.06.2002 (43) Veröffentlichungstag: 02.05.2003  Patentblatt  2003/18 (21) Anmeldenummer: 01969527.9 (22) Anmeldetag:  26.07.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/761, H01L 27/07, H01L 27/06, H01L 27/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0108/669 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0201/1199 (07.02.2002 Gazette  2002/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 01.08.2000 DE 10037452 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: FERIANZ, Thomas A-9555 Glanegg (AT) (74) Vertreter: Charles, Glyndwr  Reinhard-Skuhra-Weise & Partner,Patentanwälte,Friedrichstrasse 31 80801 München 80801 München (DE)