(19)
(11) EP 1 306 462 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.10.2003  Patentblatt  2003/44

(43) Veröffentlichungstag A2:
02.05.2003  Patentblatt  2003/18

(21) Anmeldenummer: 02023737.6

(22) Anmeldetag:  23.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 8/20, C23C 8/22
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 23.10.2001 DE 10152204

(71) Anmelder: Schwäbische Härtetechnik Ulm GmbH
89079 Ulm Donautal (DE)

(72) Erfinder:
  • Hiebsch, Peter
    89134 Blaustein (DE)

(74) Vertreter: Emde, Eric et al
Wagner & Geyer, Gewürzmühlstrasse 5
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) Vorrichtung und Verfahren zum Messen und/oder Regeln der Aufkohlungsatmosphäre in einer Vakuumgasaufkohlungsanlage


(57) Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf das Gebiet der Aufkohlung und insbesondere auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Messen und/oder Regeln der Aufkohlungsatmosphäre in einer Vakuumgasaufkohlungsanlage. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass bei einer Vakuumgasaufkohlungsanlage mit mindestens einer Aufkohlungskammer die Aufkohlungskammer eine Öffnung aufweist, in der eine Sonde zur Messung der Atmosphäre in der Aufkohlungskammer vakuumdicht angeordnet ist. Vorzugsweise ist die Sonde eine vakuumdichte Sauerstoffsonde. Beispielsweise verwendet die Sonde Zirkonoxid-Keramik zur Messung. Durch die Verwendung der Sonde ergibt sich auch ein besonders einfaches und wirkungsvolles Verfahren zum Messen und/oder Regeln der Aufkohlungsatmosphäre.





Recherchenbericht