| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
10.08.2000 DE 10039006
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| (71) |
Anmelder: Leybold Vakuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- KRIEHN, Hartmut
50997 Köln (DE)
- BRENNER, Lothar
53502 Bad Münstereifel (DE)
- BEHLING, Manfred
50968 Köln (DE)
- DREIFERT, Thomas
50171 Kerpen (DE)
- ROFALL, Klaus
51503 Rösrath (DE)
- ENGLÄNDER, Heinrich
52441 Linnich (DE)
- FROITZHEIM, Michael
41539 Dormagen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. |
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Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE) |
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