(19)

(11)

EP 1 307 898 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 27.06.2002 (43) Veröffentlichungstag: 07.05.2003  Patentblatt  2003/19 (21) Anmeldenummer: 01974152.9 (22) Anmeldetag:  09.08.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 61/90 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0109/226 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0201/5213 (21.02.2002 Gazette  2002/08)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 11.08.2000 DE 10039383 (71) Anmelder: PerkinElmer Optoelectronics GmbH 65199 Wiesbaden (DE)	(72) Erfinder: DÜNISCH, Ingo 65197 Wiesbaden (DE) (74) Vertreter: Beetz & PartnerPatentanwälte  Steinsdorfstrasse 10 80538 München 80538 München (DE)