(19)

(11)

EP 1 307 926 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 18.04.2002 (43) Veröffentlichungstag: 07.05.2003  Patentblatt  2003/19 (21) Anmeldenummer: 01969567.5 (22) Anmeldetag:  03.08.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/048, H01L 31/05 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0109/004 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0201/3278 (14.02.2002 Gazette  2002/07)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 08.08.2000 DE 10054776 (71) Anmelder: Astrium GmbH 81663 München (DE)	(72) Erfinder: LA ROCHE, Günther 85521 Ottobrunn (DE) HOESSELBARTH, Brigitte 83109 Grosskarolinenfeld (DE) (74) Vertreter: Ulrich, Thomas  EADS Deutschland GmbH,LG-PM - Patente 81663 München 81663 München (DE)