(19)
(11) EP 1 309 843 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.05.2003  Patentblatt  2003/20

(21) Anmeldenummer: 01969533.7

(22) Anmeldetag:  27.07.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01M 3/22
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0108/706
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0201/4824 (21.02.2002 Gazette  2002/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 16.08.2000 DE 10040074

(71) Anmelder: Inficon GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • ABELEN, Thomas
    50374 Erftstadt (DE)
  • SEILER, Andreas
    97877 Wertheim (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. et al
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DICHTHEITSPRÜFUNG EINES GASGENERATORS