(19)
(11) EP 1 309 896 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.09.2002

(43) Veröffentlichungstag:
14.05.2003  Patentblatt  2003/20

(21) Anmeldenummer: 01967274.0

(22) Anmeldetag:  14.08.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 1/16
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0109/405
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0201/4951 (21.02.2002 Gazette  2002/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 14.08.2000 DE 10039644

(71) Anmelder: Universität Gesamthochschule Kassel
34109 Kassel (DE)

(72) Erfinder:
  • MEIJER, Jan
    44892 Bochum (DE)
  • STEPHAN, Andreas
    44789 Bochum (DE)
  • WEIDENMÜLLER, Ulf
    44867 Bochum (DE)
  • RANGELOW, Ivo
    34225 Baunatal (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) LOCHMASKE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER LOCHMASKE