(19)
(11) EP 1 311 712 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
03.01.2003

(43) Veröffentlichungstag:
21.05.2003  Patentblatt  2003/21

(21) Anmeldenummer: 01991711.1

(22) Anmeldetag:  22.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 2/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0104/952
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0207/7312 (03.10.2002 Gazette  2002/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 27.03.2001 DE 10115201
15.05.2001 DE 10123554

(71) Anmelder: Widia GmbH
45145 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • WESTPHAL, Hartmut
    36466 Dermbach/Rhön (DE)
  • SOTTKE, Volkmar
    45479 Mülheim (DE)

(74) Vertreter: Vomberg, Friedhelm, Dipl.-Phys. 
Patentanwalt,Schulstrasse 8
42653 Solingen
42653 Solingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERHÖHUNG DER DRUCKSPANNUNG ODER ZUR ERNIEDRIGUNG DER ZUGEIGENSPANNUNG EINER SCHICHT