(19)

(11)

EP 1 311 907 A1

(12)

(43) Date de publication: 21.05.2003  Bulletin  2003/21 (21) Numéro de dépôt: 01940668.5 (22) Date de dépôt:  01.06.2001

(51) Int. Cl.7: G03F 7/039, G03F 7/004 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0101/708 (87) Numéro de publication internationale: WO 0109/5034 (13.12.2001 Gazette  2001/50)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Etats d'extension désignés: AL LT LV MK RO SI (30) Priorité: 05.06.2000 FR 0007145 (71) Demandeur: RHODIA CHIMIE 92512 Boulogne Billancourt Cedex (FR)	(72) Inventeurs: PRAT, Evelyne F-93500 PANTIN (FR) DESTARAC, Mathias F-75005 PARIS (FR) (74) Mandataire: Andrieu, Isabelle A. J.  Rhodia Services,Direction Propriété Industrielle,40, rue de la Haie-Coq 93306 Aubervilliers Cedex 93306 Aubervilliers Cedex (FR)