(19)

(11)

EP 1 312 111 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.05.2003  Patentblatt  2003/21 (21) Anmeldenummer: 01944724.2 (22) Anmeldetag:  27.06.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/48, H01L 23/367, H01L 23/473 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/AT0100/211 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0201/7377 (28.02.2002 Gazette  2002/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 23.08.2000 AT 14512000 (71) Anmelder: Cool Structures Production and Sales GmbH 7000 Eisenstadt (AT)	(72) Erfinder: MALY-SCHREIBER, Martha A-2340 Mödling (AT) HAGG, Christoph 8055 Graz (AT) PREISSNER, Egon A-2490 Ebenfurth (AT) KÜPPERS, Laszlo A-1060 Wien (DE) (74) Vertreter: Pinter, Rudolf, Dipl.-Ing. et al Patentanwalt,Europäischer Patentvertreter,Prinz-Eugen-Strasse 70 1040 Wien 1040 Wien (AT)