PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT LE DEPOT DE COUCHES METALLIQUES EN CONTINU PAR PLASMA FROID - Patent 1313889

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EP 1 313 889 A1

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(43)	Date de publication:
	28.05.2003 Bulletin 2003/22

(21)	Numéro de dépôt: 01962497.2

(22)	Date de dépôt: 23.08.2001

(51)	Int. Cl.⁷: C23C 14/34, C23C 14/32, H01J 37/34

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/BE0100/142

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0201/6664 (28.02.2002 Gazette 2002/09)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorité:

23.08.2000 EP 00202942

(71)	Demandeur: Cold Plasma Applications C.P.A.
	1300 Limal (BE)

(72)	Inventeurs:
	VANDEN BRANDE, Pierre B-3090 Overijse (BE) WEYMEERSCH, Alain B-1300 Wavre (BE)

(74)	Mandataire: Callewaert, Jean
	Bureau Callewaert b.v.b.a.Brusselsesteenweg 108 3090 Overijse 3090 Overijse (BE)

(54)	PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT LE DEPOT DE COUCHES METALLIQUES EN CONTINU PAR PLASMA FROID