(19)
(11) EP 1 313 892 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.05.2003  Patentblatt  2003/22

(21) Anmeldenummer: 01965211.4

(22) Anmeldetag:  23.08.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 24/10, H01M 8/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0109/761
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0201/6669 (28.02.2002 Gazette  2002/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 24.08.2000 EP 00118429

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Trofimenko Nikolai
    01069 Dresden (DE)
  • KUZNECOV, Michael
    01159 Dresden (DE)
  • OTSCHIK, Peter
    01728 Possendorf (DE)
  • SCHAFFRATH, Winfried
    01307 Dresden (DE)
  • TROFIMENKO, Nikolai
    01069 Dresden (DE)
  • Fleck Robert
    Adelsdorf (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER FESTELEKTROLYTSCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT