(19)
(11) EP 1 314 201 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.05.2003  Patentblatt  2003/22

(21) Anmeldenummer: 01958074.5

(22) Anmeldetag:  16.08.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/525
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0109/427
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0201/9426 (07.03.2002 Gazette  2002/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 01.09.2000 DE 10043215

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LEHR, Matthias
    01309 Dresden (DE)
  • SCHILLING, Uwe
    01309 Dresden (DE)
  • POLEI, Veronika
    01814 Bad Schandau (DE)
  • SPERL, Irene
    01109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Wilhelm, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Patentanwaltskanzlei WilhelmNymphenburger Strasse 139
80636 München
80636 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ANTIFUSE UND ANTIFUSE ZUR SELEKTIVEN ELEKTRISCHEN VERBINDUNG VON BENACHBARTEN LEITENDEN BEREICHEN