(19)
(11) EP 1 317 692 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.08.2002

(43) Veröffentlichungstag:
11.06.2003  Patentblatt  2003/24

(21) Anmeldenummer: 01978135.0

(22) Anmeldetag:  11.09.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0103/518
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0202/3845 (21.03.2002 Gazette  2002/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 15.09.2000 DE 10046518

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PAUFLER, Jörg
    12459 Berlin (DE)
  • BRUNN, Stefan
    12489 Berlin (DE)
  • KÖRNER, Tim
    10245 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Gross, Felix, Dr. et al
PatentanwälteMaikowski & NinnemannPostfach 15 09 20
10671 Berlin
10671 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR VERBESSERUNG DER BILDQUALITÄT UND ZUR ERHÖHUNG DER SCHREIBGESCHWINDIGKEIT BEI BELICHTUNG LICHTEMPFINDLICHER SCHICHTEN