(19)
(11) EP 1 319 249 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.09.2002

(43) Veröffentlichungstag:
18.06.2003  Patentblatt  2003/25

(21) Anmeldenummer: 01984504.9

(22) Anmeldetag:  20.07.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/48
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0102/758
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0201/3268 (14.02.2002 Gazette  2002/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 03.08.2000 DE 10037821

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BREITSCHWERDT, Klaus
    70794 Filderstadt (DE)
  • ARTMANN, Hans
    71106 Magstadt (DE)
  • FREY, Wilhelm
    9430Palo Alto (US)
  • FUNK, Karsten
    9430 Palo Alto (US)
  • NEUMANN, Juergen
    86850 Reitenbuch (DE)

   


(54) BAUGRUPPE, INSBESONDERE WAFER-BAUGRUPPE