(19)
(11)
EP 1 320 720 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
19.09.2002
(43)
Veröffentlichungstag:
25.06.2003
Patentblatt 2003/26
(21)
Anmeldenummer:
01980410.3
(22)
Anmeldetag:
19.09.2001
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
G01B
11/03
,
G01B
5/012
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0110/826
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0202/5206
(
28.03.2002
Gazette 2002/12)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI
(30)
Priorität:
20.09.2000
DE 10046819
02.10.2000
DE 10049122
(71)
Anmelder:
Werth Messtechnik GmbH
35394 Giessen (DE)
(72)
Erfinder:
CHRISTOPH, Ralf
35641 Schöffengrund (DE)
(74)
Vertreter:
Stoffregen, Hans-Herbert, Dr. Dipl.-Phys.
Patentanwalt,Friedrich-Ebert-Anlage 11b
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)
(54)
ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM OPTO-TAKTILEN MESSEN VON STRUKTUREN