(19)
(11) EP 1 320 720 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.09.2002

(43) Veröffentlichungstag:
25.06.2003  Patentblatt  2003/26

(21) Anmeldenummer: 01980410.3

(22) Anmeldetag:  19.09.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01B 11/03, G01B 5/012
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0110/826
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0202/5206 (28.03.2002 Gazette  2002/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 20.09.2000 DE 10046819
02.10.2000 DE 10049122

(71) Anmelder: Werth Messtechnik GmbH
35394 Giessen (DE)

(72) Erfinder:
  • CHRISTOPH, Ralf
    35641 Schöffengrund (DE)

(74) Vertreter: Stoffregen, Hans-Herbert, Dr. Dipl.-Phys. 
Patentanwalt,Friedrich-Ebert-Anlage 11b
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM OPTO-TAKTILEN MESSEN VON STRUKTUREN