(19)
(11) EP 1 321 966 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
23.05.2007  Patentblatt  2007/21

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
11.04.2007  Patentblatt  2007/15

(21) Anmeldenummer: 01130532.3

(22) Anmeldetag:  21.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(2006.01)

(54)

Greifwerkzeug zum Montieren von Halbleiterchips

Gripping tool for mounting semiconductor chips

Outil de préhension pour le montage de puces semiconductrices

(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE LI

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
25.06.2003  Patentblatt  2003/26

(73) Patentinhaber: Oerlikon Assembly Equipment AG, Steinhausen
6330 Cham (CH)

(72) Erfinder:
  • Schnetzler, Daniel
    6314 Unterägeri (CH)
  • Huwyler, Rolf
    5620 Bremgarten (CH)
  • Heggli, Guido
    6330 Cham (CH)

(74) Vertreter: Falk, Urs 
Patentanwaltsbüro Dr. Urs Falk Eichholzweg 9A
6312 Steinhausen
6312 Steinhausen (CH)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1995, no. 06, 31. Juli 1995 (1995-07-31) -& JP 07 066092 A (SUMITOMO SITIX CORP), 10. März 1995 (1995-03-10)
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1999, no. 02, 26. Februar 1999 (1999-02-26) -& JP 10 313042 A (SONY CORP), 24. November 1998 (1998-11-24)
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 018, no. 372 (E-1577), 13. Juli 1994 (1994-07-13) -& JP 06 104300 A (FUJITSU LTD;OTHERS: 01), 15. April 1994 (1994-04-15)
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 2000, no. 20, 10. Juli 2001 (2001-07-10) -& JP 2001 077295 A (SONY CORP), 23. März 2001 (2001-03-23)
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).