(19)

(11)

EP 1 322 794 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 27.06.2002 (43) Veröffentlichungstag: 02.07.2003  Patentblatt  2003/27 (21) Anmeldenummer: 01976101.4 (22) Anmeldetag:  17.08.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 4/06 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0109/514 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0202/4970 (28.03.2002 Gazette  2002/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 21.09.2000 DE 10046956 (71) Anmelder: Federal-Mogul Burscheid GmbH 51399 Burscheid (DE)	(72) Erfinder: HERBST-DEDERICHS, Christian 51399 Burscheid (DE) (74) Vertreter: Becker Kurig Straus  PatentanwälteBavariastrasse 7 80336 München 80336 München (DE)