(19)
(11) EP 1 327 172 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.07.2003  Patentblatt  2003/29

(21) Anmeldenummer: 01982439.0

(22) Anmeldetag:  19.10.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G02B 17/06, G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0112/110
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0203/3467 (25.04.2002 Gazette  2002/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 20.10.2000 DE 10052289
13.12.2000 US 255216 P

(71) Anmelder:
  • Carl Zeiss
    89518 Heidenheim (Brenz) (DE)

    AT BE CH CY DE DK ES FI FR GR IT LU MC NL PT SE TR 
  • Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss
    89518 Heidenheim (DE)

    GB IE 

(72) Erfinder:
  • MANN, Hans-Jürgen
    73447 Oberkochen (DE)
  • ULRICH, Wilhelm
    73434 Aalen-Dewangen (DE)
  • SEITZ, Günther
    71579 Spiegelberg (DE)

(74) Vertreter: Dr. Weitzel & Partner 
Friedenstrasse 10
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) 8-SPIEGEL-MIKROLITHOGRAPHIE-PROJEKTIONSOBJEKTIV