(19)

(11)

EP 1 328 968 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.07.2003  Patentblatt  2003/30 (21) Anmeldenummer: 01988947.6 (22) Anmeldetag:  08.10.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/321, H01L 21/3105 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0111/582 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0203/5598 (02.05.2002 Gazette  2002/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 25.10.2000 DE 10052762 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: BONSDORF, Grit 01189 Dresden (DE) DICKENSCHEID, Wolfgang 01099 Dresden (DE) (74) Vertreter: Wilhelm, Jürgen, Dipl.-Phys.  Patentanwaltskanzlei Wilhelm & Beck,Nymphenburger Strasse 139 80636 München 80636 München (DE)