(19)
(11) EP 1 328 977 A1

(12)

(43) Date de publication:
23.07.2003  Bulletin  2003/30

(21) Numéro de dépôt: 01978532.8

(22) Date de dépôt:  15.10.2001
(51) Int. Cl.7: H01L 29/51, H01L 21/316
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR0103/189
(87) Numéro de publication internationale:
WO 0203/5609 (02.05.2002 Gazette  2002/18)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorité: 23.10.2000 FR 0013506

(71) Demandeur: X-Ion
75116 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • KORWIN-PAWLOWSKI, Michael
    F-75016 Paris (FR)
  • LAZZARI, Jean-Pierre
    F-38700 Corenc (FR)
  • BORSONI, Gilles
    F-91190 Gif sur Yvette (FR)
  • FROMENT, Michel
    F-91290 La Norville (FR)

(74) Mandataire: Schwartz, Thierry J. 
Cabinet ORES36, rue de St Pétersbourg
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE REALISATION D'UN OXYDE DE GRILLE FORME SUR SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR