(19)
(11) EP 1 330 606 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.07.2003  Patentblatt  2003/31

(21) Anmeldenummer: 01974146.1

(22) Anmeldetag:  09.08.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7F04D 29/02, F04D 19/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0109/193
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0203/5100 (02.05.2002 Gazette  2002/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 28.10.2000 DE 10053664

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • ENGLÄNDER, Heinrich
    52441 Linnich (DE)
  • FROITZHEIM, Michael
    41539 Dormagen (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) MECHANISCHE KINETISCHE VAKUUMPUMPE