(19)

(11)

EP 1 332 106 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 15.08.2002 (43) Veröffentlichungstag: 06.08.2003  Patentblatt  2003/32 (21) Anmeldenummer: 01993578.2 (22) Anmeldetag:  07.11.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 1/00, B81C 1/00 // B01L3/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0104/141 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0203/8490 (16.05.2002 Gazette  2002/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 07.11.2000 DE 10055155 (71) Anmelder: Gesim Gesellschaft für Silizium-Mikrosysteme mbH 01474 Rossendorf (DE)	(72) Erfinder: HOWITZ, Steffen 01159 Dresden (DE) (74) Vertreter: Hudler, Frank, Dipl.-Ing.  PatentanwälteLippert, Stachow, Schmidt & PartnerKrenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)