PORÖSE SCHICHTEN UND EIN VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG MITTELS SPIN-COATING - Patent 1333936

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EP 1 333 936 A2

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(88)	Veröffentlichungstag A3:
	05.06.2003

(43)	Veröffentlichungstag:
	13.08.2003 Patentblatt 2003/33

(21)	Anmeldenummer: 01987698.6

(22)	Anmeldetag: 19.10.2001

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: B05D 1/00, B32B 15/00, B01J 20/32, H01L 21/00, B01D 15/00, B01D 53/04, G01N 27/00

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP0112/153

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0203/2589 (25.04.2002 Gazette 2002/17)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorität:

19.10.2000 DE 10052075

(71)	Anmelder: NanoScape AG
	80807 München (DE)

(72)	Erfinder:
	Bein, Thomas W. 82166 Gräfelfing (DE) Mintova, Svetlana Ivanova 81369 München (DE)

(74)	Vertreter: Forstmeyer, Dietmar, Dr. rer. nat., Dipl.-Chem. et al
	Boeters & Bauer,Bereiteranger 15 81541 München 81541 München (DE)

(54)	PORÖSE SCHICHTEN UND EIN VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG MITTELS SPIN-COATING