(19)
(11) EP 1 334 341 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.08.2003  Patentblatt  2003/33

(21) Anmeldenummer: 01980096.0

(22) Anmeldetag:  07.11.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01L 19/04, G01L 1/10, G01L 7/08, G01L 23/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH0100/650
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0204/0956 (23.05.2002 Gazette  2002/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 15.11.2000 CH 222300

(71) Anmelder: K.K. HOLDING AG
CH-8408 Winterthur (CH)

(72) Erfinder:
  • CAVALLONI, Claudio
    CH-8105 Regensdorf (CH)
  • GNIELKA, Marco
    CH-8400 Winterthur (CH)
  • HAUEIS, Martin
    Summit, NJ 07901 (US)

   


(54) RESONATOR CHIP SENSOR FÜR DRUCK, KRAFT MIT MECHANISCH ENTKOPPELTEN TEILBEREICHEN ( SCHLITZE ) SOWIE WEICHER MEMBRAN