(19)
(11) EP 1 334 406 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
03.01.2003

(43) Veröffentlichungstag:
13.08.2003  Patentblatt  2003/33

(21) Anmeldenummer: 01996769.4

(22) Anmeldetag:  14.11.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 1/00, G03F 7/20, G03F 1/14
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0104/263
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0204/1076 (23.05.2002 Gazette  2002/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 14.11.2000 DE 10056262
01.06.2001 DE 10126838

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GRIESINGER, Uwe
    85646 Anzing (DE)
  • HENNIG, Mario
    01109 Dresden (DE)
  • KNOBLOCH, Jürgen
    81371 München (DE)
  • PFORR, Rainer
    01108 Dresden (DE)
  • VORWERK, Manuel
    01099 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) PHOTOLITHOGRAPHISCHE MASKE