(19)

(11)

EP 1 334 526 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.08.2003  Patentblatt  2003/33 (21) Anmeldenummer: 01987951.9 (22) Anmeldetag:  16.10.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/30, H01L 51/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0111/987 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0203/3762 (25.04.2002 Gazette  2002/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 17.10.2000 DE 10051369 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: JANIETZ, Silvia 14532 Stahnsdorf (DE) WEDEL, Armin 14513 Teltow (DE) (74) Vertreter: Albrecht, Thomas, Dr. et al Kraus & Weisert,Thomas-Wimmer-Ring 15 80539 München 80539 München (DE)