(19)
(11) EP 1 336 197 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.08.2003  Patentblatt  2003/34

(21) Anmeldenummer: 01982175.0

(22) Anmeldetag:  02.10.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/31, H01L 23/00, H01L 23/485
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0103/785
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0203/3749 (25.04.2002 Gazette  2002/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 14.10.2000 DE 10051053

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • HECHT, Hans
    70825 Korntal-Muenchingen (DE)
  • MUELLER, Lutz
    72631 Aichtal (DE)
  • STARK, Andreas
    98724 Lauscha (DE)
  • STEINER, Werner
    71032 Boeblingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM SCHUTZ ELEKTRONISCHER ODER MIKROMECHANISCHER BAUTEILE