(19)
(11) EP 1 337 326 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.08.2003  Patentblatt  2003/35

(21) Anmeldenummer: 01989505.1

(22) Anmeldetag:  23.11.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B01J 19/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0113/649
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0204/3853 (06.06.2002 Gazette  2002/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 29.11.2000 DE 10059295
11.04.2001 DE 10118030

(71) Anmelder: MERCK PATENT GmbH
64293 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • GREVE, Thomas
    64285 Darmstadt (DE)
  • PIEPER, Guido
    64291 Darmstadt (DE)
  • QUENZER, Gerd
    64397 Modautal (DE)
  • SCHMELZ, Michael
    64347 Griesheim (DE)
  • WURZIGER, Hanns
    64291 Darmstadt (DE)
  • SPRENG, Lothar
    64853 Otzberg (DE)
  • SCHWESINGER, Norbert
    85386 Eching (DE)

   


(54) EINRICHTUNG ZUM TEMPERIEREN VON MIKROKOMPONENTEN