(19)
(11) EP 1 338 039 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.08.2003  Patentblatt  2003/35

(21) Anmeldenummer: 01999007.6

(22) Anmeldetag:  23.11.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/51, H01L 29/88
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0104/447
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0204/5172 (06.06.2002 Gazette  2002/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 29.11.2000 DE 10059357

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • KOHLSTEDT, Hermann
    50170 Kerpen/Buir (DE)
  • RODRIGUEZ CONTRERAS, Julio
    50354 Hürth (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES TUNNELKONTAKTES SOWIE VORRICHTUNG UMFASSEND MITTEL ZUR ERZEUGUNG EINES TUNNELKONTAKTES