(19)
(11) EP 1 341 947 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.02.2003

(43) Veröffentlichungstag:
10.09.2003  Patentblatt  2003/37

(21) Anmeldenummer: 01986851.2

(22) Anmeldetag:  06.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 14/08, C23C 14/56, C23C 30/00, C03C 17/245
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0114/304
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0204/6490 (13.06.2002 Gazette  2002/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 06.12.2000 DE 10060681

(71) Anmelder: Frauenhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SZYSZKA, Bernd
    38108 Braunschweig (DE)
  • BIERHALS, Andreas
    30175 Hannover (DE)
  • BRINGMANN, Udo
    25469 Halstenbek (DE)
  • HÖING, Thomas
    38106 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner 
Mozartstrasse 17
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) BESCHICHTETES SUBSTRAT GERINGER EMISSIVITÄT