(19)
(11) EP 1 341 948 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.09.2003  Patentblatt  2003/37

(21) Anmeldenummer: 01980095.2

(22) Anmeldetag:  06.11.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/34, H01J 37/34
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH0100/649
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0204/2518 (30.05.2002 Gazette  2002/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 27.11.2000 CH 229400

(71) Anmelder: Unaxis Trading AG
9477 Trübbach (CH)

(72) Erfinder:
  • VOSER, Stephan
    CH-9470 Buchs (CH)
  • LORENZ, Eduard, Karl
    CH-9477 Trübbach (CH)

   


(54) TARGET MIT DICKENPROFILIERUNG FÜR RF MAGNETRON