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(11) | EP 1 342 969 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung von Werkstücken |
| (57) Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen und Trocknen von Werkstücken in einem Behandlungsbehälter
(1), in dem ein Unterdruck erzeugbar ist. Während des Reinigungsprozesses ist in dem
Behandlungsbehälter (1) ein Flüssigkeitsbad (50) ausgebildet, welches die Werkstücke
wenigstens teilweise umgibt. Über eine Sprüheinheit (8a, 8b) wird während des Reinigungsprozesses
Reinigungsflüssigkeit und ggf. ein gasförmiges Medium unter Überdruck in den Behandlungsbehälter
(1) eingebracht. Durch eine Auf- und Abbewegung oder eine Rotationsbewegung des Werkstückträgers
werden die Werkstücke abwechselnd unterschiedlichen Reinigungsprozessen in dem Flüssigkeitsbad
(50) und einem oberhalb des Flüssigkeitsbades befindlichen Gasraum (52) zugeführt.
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