| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
| (30) |
Priorität: |
22.12.2000 DE 10065944
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| (71) |
Anmelder: |
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- Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GR IE IT LU MC NL PT SE TR
- Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss
89518 Heidenheim (DE)
GB
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| (72) |
Erfinder: |
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- SCHUSTER, Karl-Heinz
89551 Königsbronn (DE)
- SCHILLKE, Frank
73434 Aalen (DE)
- STICKEL, Franz-Josef
73447 Oberkochen (DE)
- EPPLE, Alexander
73431 Aalen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Golla, Anke |
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c/o Carl Zeiss,Patentabteilung
73446 Oberkochen
73446 Oberkochen (DE) |
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