(19)
(11)
EP 1 344 112 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
31.10.2002
(43)
Veröffentlichungstag:
17.09.2003
Patentblatt 2003/38
(21)
Anmeldenummer:
01989598.6
(22)
Anmeldetag:
15.12.2001
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
G03F
7/20
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0114/846
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0205/2303
(
04.07.2002
Gazette 2002/27)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
(30)
Priorität:
22.12.2000
DE 10065944
01.06.2001
DE 10126946
(71)
Anmelder:
Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)
(72)
Erfinder:
SCHUSTER, Karl-Heinz
89551 Königsbronn (DE)
(74)
Vertreter:
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr.
Carl Zeiss,Patentabteilung
73446 Oberkochen
73446 Oberkochen (DE)
(54)
PROJEKTIONSOBJEKTIV