(19)
(11) EP 1 344 112 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
31.10.2002

(43) Veröffentlichungstag:
17.09.2003  Patentblatt  2003/38

(21) Anmeldenummer: 01989598.6

(22) Anmeldetag:  15.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0114/846
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0205/2303 (04.07.2002 Gazette  2002/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 22.12.2000 DE 10065944
01.06.2001 DE 10126946

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHUSTER, Karl-Heinz
    89551 Königsbronn (DE)

(74) Vertreter: Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr. 
Carl Zeiss,Patentabteilung
73446 Oberkochen
73446 Oberkochen (DE)

   


(54) PROJEKTIONSOBJEKTIV