(19)
(11) EP 1 344 243 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.09.2003  Patentblatt  2003/38

(21) Anmeldenummer: 01994794.4

(22) Anmeldetag:  15.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00, C23C 16/54
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0114/832
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0205/2617 (04.07.2002 Gazette  2002/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 23.12.2000 DE 10064943
05.12.2001 DE 10159702

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • STRZYZEWSKI, Piotr
    52134 Herzogenrath (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk, Dr. et al
Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN