(19)
(11) EP 1 346 201 A1

(12)

(43) Date de publication:
24.09.2003  Bulletin  2003/39

(21) Numéro de dépôt: 01989637.2

(22) Date de dépôt:  18.12.2001
(51) Int. Cl.7G01N 21/21
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR0104/046
(87) Numéro de publication internationale:
WO 0205/0513 (27.06.2002 Gazette  2002/26)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorité: 18.12.2000 FR 0016529

(71) Demandeurs:
  • CENTRE NATIONAL DELA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
    75794 Paris Cedex 16 (FR)
  • UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE
    75252 Paris Cédex 05 (FR)

(72) Inventeurs:
  • AUSSERRE, Dominique
    F-72370 SOULITRE (FR)
  • VALIGNAT, Marie-Pierre
    F-92100 BOULOGNE (FR)

(74) Mandataire: Catherine, Alain et al
Cabinet Harlé & Phélip7, rue de Madrid
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) DISPOSITIF DE VISUALISATION BIDIMENSIONNELLE ELLIPSOMETRIQUE D'UN ECHANTILLON, PROCEDE DE VISUALISATION ET PROCEDE DE MESURE ELLIPSOMETRIQUE AVEC RESOLUTION SPATIALE