(19)

(11)

EP 1 346 413 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 13.02.2003 (43) Veröffentlichungstag: 24.09.2003  Patentblatt  2003/39 (21) Anmeldenummer: 01995582.2 (22) Anmeldetag:  06.12.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/58 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0104/589 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0205/4492 (11.07.2002 Gazette  2002/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 29.12.2000 DE 10065747 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: KUX, Andreas 85540 Haar (DE)