(19)

(11)

EP 1 346 416 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 27.12.2002 (43) Date de publication: 24.09.2003  Bulletin  2003/39 (21) Numéro de dépôt: 01984889.4 (22) Date de dépôt:  20.12.2001

(51) Int. Cl.7: H01L 27/142, H01L 31/18, G01N 21/00 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP0115/382 (87) Numéro de publication internationale: WO 0205/0913 (27.06.2002 Gazette  2002/26)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Etats d'extension désignés: AL LT LV MK RO SI (30) Priorité: 20.12.2000 FR 0016693 (71) Demandeur: Energy Systems International BV 4823 CA Breda (NL)	(72) Inventeur: DE RUITER, Adrianus 4823 CA Breda (NL) (74) Mandataire: Geismar, Thierry  Cabinet Bouju Derambure Bugnion,52, rue de Monceau 75008 Paris 75008 Paris (FR)