(19)
(11) EP 1 348 121 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.10.2003  Patentblatt  2003/40

(21) Anmeldenummer: 01271537.1

(22) Anmeldetag:  05.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 27/12, G01N 27/22, G01P 5/12, G01F 1/692
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0114/229
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0205/0527 (27.06.2002 Gazette  2002/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 21.12.2000 DE 10063794

(71) Anmelder: E+E Elektronik Ges. Mbh
4210 Engerwitzdorf (AT)

(72) Erfinder:
  • TIMELTHALER, Wolfgang
    A-4210 Engerwitzdorf (AT)

(74) Vertreter: Hofmann, Ernst 
Dr. Johannes Heidenhain GmbH, Patentabteilung, Postfach 12 60
83292 Traunreut
83292 Traunreut (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DÜNNSCHICHTSENSOREN, INSBESONDERE HEISSFILMANEMOMETERN UND FEUCHTESENSOREN