(19)

(11)

EP 1 350 267 A1

(12)

(43) Date de publication: 08.10.2003  Bulletin  2003/41 (21) Numéro de dépôt: 02710090.8 (22) Date de dépôt:  09.01.2002

(51) Int. Cl.7: H01L 21/8242, H01L 27/108, H01L 27/146 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0200/054 (87) Numéro de publication internationale: WO 0205/6370 (18.07.2002 Gazette  2002/29)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorité: 12.01.2001 FR 0100419 (71) Demandeur: STMicroelectronics S.A. 92120 Montrouge (FR)	(72) Inventeurs: MENUT, Olivier F-38000 Grenoble (FR) GRIS, Yvon F-38210 Tullins (FR) (74) Mandataire: Casalonga, Axel  BUREAU D.A. CASALONGA - JOSSEPaul-Heyse-Strasse 33 80336 München 80336 München (DE)