(19)
(11) EP 1 350 268 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
20.03.2003

(43) Veröffentlichungstag:
08.10.2003  Patentblatt  2003/41

(21) Anmeldenummer: 02710780.4

(22) Anmeldetag:  08.01.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/8242
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0200/102
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0205/6369 (18.07.2002 Gazette  2002/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 09.01.2001 DE 10100582

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GOLDBACH, Matthias
    01099 Dresden (DE)
  • ORTH, Andreas
    01099 Dresden (DE)
  • LUETZEN, Joern
    01099 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GRABENKONDENSATOREN FÜR INTEGRIERTE HALBLEITERSPEICHER