(19)

(11)

EP 1 350 295 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 20.03.2003 (43) Veröffentlichungstag: 08.10.2003  Patentblatt  2003/41 (21) Anmeldenummer: 02718018.1 (22) Anmeldetag:  10.01.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H02J 7/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0200/184 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0206/3741 (15.08.2002 Gazette  2002/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 10.01.2001 DE 10100945 (71) Anmelder: Institut für Mikroelektronisch- und Mechatronik-systeme GmbH 98693 Ilmenau (DE)	(72) Erfinder: KORNETZKY, Peter 98693 Ilmenau (DE) (74) Vertreter: Hengelhaupt, Jürgen D., Dipl.-Ing. et al Gulde Hengelhaupt Ziebig,Schützenstrasse 15-17 10117 Berlin 10117 Berlin (DE)