(19)
(11) EP 1 351 044 A8

(12) DEMANDE DE BREVET EUROPEEN CORRIGEE

(48) Corrigendum publié le:
17.12.2003  Bulletin  2003/51

(43) Date de publication:
08.10.2003  Bulletin  2003/41

(21) Numéro de dépôt: 03101198.4

(22) Date de dépôt:  15.04.1998
(51) Int. Cl.7: G01L 9/00
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorité: 17.04.1997 FR 9704767

(62) Numéro de dépôt de la demande initiale en application de l'article 76 CBE:
98400931.6 / 0872720

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75752 Paris Cedex 15 (FR)

(72) Inventeur:
  • DELAYE, Marie-Thérèse
    38100, GRENOBLE (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard 
Société BREVATOME 3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

 
Remarques:
Cette demande a été déposée le 30 - 04 - 2003 comme demande divisionnaire de la demande mentionnée sous le code INID 62.
 


(54) Microsystème à membrane souple pour capteur de pression


(57) Cellule de capteur de pression comportant :
  • un substrat (12) comportant au moins une première électrode (10),
  • une membrane déformable (22) fixée par un bord périphérique au substrat et définissant une chambre (26) fermée autour d'au moins une partie de la première électrode (10), et
  • une seconde électrode (20) formée sur une paroi de la membrane (22) tournée vers la première électrode, la seconde électrode étant maintenue séparée de la première électrode en l'absence de pression exercée sur la membrane.