(19)
(11) EP 1 354 138 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.10.2003  Patentblatt  2003/43

(21) Anmeldenummer: 01994664.9

(22) Anmeldetag:  15.11.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 19/04, F04D 29/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0113/204
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0205/9483 (01.08.2002 Gazette  2002/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 25.01.2001 DE 10103230

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BEYER, Christian
    50765 Köln (DE)
  • ENGLÄNDER, Heinz
    52441 Linnich (DE)
  • KLINGNER, Peter
    50996 Köln (DE)
  • LAERBUSCH, Martin
    52379 Langerwehe (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) TURBOMOLEKULARVAKUUMPUMPE MIT ROTOR- UND STATORSCHAUFELN